DLC-Beschichtungen
Diamond-like Carbon ist eine metastabile Form des diamantähnlichen amorphen Kohlenstoffs mit einem signifikanten Anteil von sp3-Bindungen
Eigenschaften und Anwendungsmöglichkeiten
- Glatte Oberfläche
- Hohe mechanische Härte
- Chemische Beständigkeit
- Niedriger Reibungskoeffizient zwischen Werkzeug und Werkstück
- Nicht reflektierende Oberfläche
- Eignung für biokompatible Produkte
Kategorien von DLC-Beschichtungen
- a-C = Wasserstofffreier amorpher Kohlenstoff
- ta-C = Tetraedrisch gebundener wasserstofffreier amorpher Kohlenstoff
- a-C:Me = Metall-dotierter wasserstofffreier amorpher Kohlenstoff
(Me = Ti) - a-C:H = Amorpher Kohlenstoff mit Wasserstoff
- ta-C:H = Tetraedrisch gebundener amorpher Kohlenstoff mit Wasserstoff
- a-C:H:Si = Si-dotierter amorpher Kohlenstoff mit Wasserstoff
- a-C:H:Me = Metall-dotierter amorpher Kohlenstoff mit Wasserstoff
(Me = W, Ti)
Unsere DLC-Beschichtungen
| DLC 2 | DLC 2 gesputtert | DLC 3 | |
|---|---|---|---|
| Zusammenstellung | a-C:H:Si | a-C:H:Si | ta-C + a-C (über 50% ta-C-Anteil) |
| Prozess | PECVD | PECVD | SPUTTERING |
| Schichtarchitektur | Als Stand-Alone oder als Topschicht | Als Stand-Alone oder als Topschicht | Als Stand-Alone |
| Dotierung | Si | Si | Keine |
| Schichtdicke [µm] | < 3 | < 3 | 0,3 - 1 |
| Young’s Modulus [GPa] | 250 | 250 | 350 - 450 |
| Nanohärte [GPa] | > 25 | > 25 | 45-50 |
| Rauigkeit | Ra ~ 0,03 µm Rz ~ Schichtdicke | Ra ~ 0,03 µm Rz ~ Schichtdicke | Ra ~ 0,06 µm Rz ~ Schichtdicke |
| Reibungskoeffizient [μ] von PoD (bei RT, 50 % Luftfeuchtigkeit) | 0,1 - 0,2 | 0,1 - 0,2 | ~ 0,1 |
| Max. Anwendungs-Temperatur [°C] | 400 | 400 | 450 |
| Beschichtungs-Temperatur [°C] | ~425°C (Standard) ~250°C (Low-T.) | ≤ 400 | < 150 |
| Hauptanwendung | Bauteile, Stempel und Matrizen | Bauteile, Stempel und Matrizen | Bauteile, Werkzeuge zur Bearbeitung von CFK / Aluminium |
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